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반도체 및 전자 산업 청정실 솔루션

2025-07-31

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고유 요구 사항 및 표준

극청정 요구 사항: ISO 5-7 등급(Class 100-10,000)이 지배적이며, 0.1μm 이상의 입자를 제어하기 위해 ISO 4(Class 10)가 필요한 고급 포장 영역이 있습니다.

다차원 제어: 온도(20-24℃±0.1℃), 습도(40-50%±2%), 진동(≤50μm/s), 정전기(≤100V)를 동시에 관리합니다.

국제 표준: 전자 제품에 대한 SEMI S2, ISO 14644 및 GMP를 준수해야 하며, 서로 다른 생산 단계 간에 엄격한 공정 격리 요구 사항이 있습니다.

핵심 솔루션

공기 정화 시스템

필터링 계층 구조: 프리 필터(G4) + 중간 효율 필터(F9) + 서브 고효율 필터(H13) + 터미널 ULPA 필터(0.12μm 이상의 입자에 대해 99.999% 효율).

기류 설계: 핵심 영역에서 전면적인 단방향 흐름(0.45m/s±20%), 시간당 최대 500회 공기 교환율.

압력 제어: 교차 오염을 방지하기 위한 인접 구역 간의 기울기 압력 차이(≥5Pa).

오염 제어 조치

자재 관리: 입고 자재용 에어록, 전용 포장 풀기 및 세척 절차, TOC ≤10ppb의 초순수(18.2MΩ·cm).

표면 처리: 용접된 스테인리스 스틸 벽(304/316L), 이음새 없는 PVC 바닥 및 실리콘 프리 실란트.

화학 물질 제어: 에칭 공정을 위한 국소 배기 시스템, 산성 가스 제거 효율 ≥99%.

린 운영 전략

지능형 모니터링: 실시간 입자 계수기, 온도/습도 센서 및 IoT 기반 중앙 제어 시스템.

에너지 최적화: 열 회수 장치(에너지 절약 ≥30%), 가변 주파수 팬 및 LED 클린룸 조명.

유지 관리 프로토콜: 분기별 HEPA/ULPA 필터 무결성 테스트, 월별 기류 속도 확인 및 연간 종합 성능 검증.

미래 동향

소형화: 3nm 이하 공정 노드에 적응하기 위한 ISO 3(Class 1) 클린룸 개발.

친환경 혁신: 저 VOC 자재 채택 및 재생 에너지 통합.

디지털 전환: AI 기반 예측 유지 관리 및 가상 시운전을 위한 디지털 트윈.

반도체 클린룸은 극청정, 공정 안정성 및 운영 효율성의 균형을 필요로 합니다. 고급 여과 기술, 정밀한 환경 제어 및 지능형 관리 시스템을 통합함으로써 이러한 중요한 시설은 고성능 전자 부품 생산을 지원합니다.

광둥성 광저우시 판위구 스치진 용산촌 용펑로 23번지 4동 102호 E-mail: sales01@gzkunling.com Tel: +8613316272505 Tel: +8613316272505

최대 연구 개발 및 생산 Prefab Cleanroom 중국 공급업체

13316272505