최근 회사 사례 Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. 인증

급속한 기술 발전 시대에 첨단 기술 분야의 핵심 부품인 양자칩은 제조 환경에 대한 요구사항이 매우 엄격합니다. 다년간의 업계 경험을 바탕으로 정화 장비 전문 제조업체인 광주클린룸건설(주)가 오늘 양자칩 제조를 위한 클린룸 구축 과정을 공개한다.

1. 사전 프로젝트 계획 및 요구 사항 분석

양자칩 클린룸 구축의 첫 단계는 매우 중요하다. 칩 제조 공정의 모든 링크에 대한 심층적인 이해가 필요합니다. 칩 리소그래피, 에칭, 증착부터 패키징 및 기타 공정에 이르기까지 각 단계마다 온도, 습도, 먼지 입자 수, 정전기 제어와 같은 환경 매개변수에 대한 요구 사항이 다릅니다. 칩 제조 기업과 긴밀히 소통하십시오. 생산 규모와 기술 경로를 기반으로 작업장의 영역과 레이아웃을 정확하게 결정하고 인력, 자재, 제품의 흐름 방향을 계획하여 세 가지 흐름이 서로 간섭하지 않고 교차 오염을 방지하여 향후 효율적인 생산을 위한 견고한 기반을 마련합니다.

2. 정제 수준 결정

양자 칩 제조에는 일반적으로 ISO 클래스 3 이상의 매우 높은 정제 수준이 필요합니다. 이는 공기 1입방미터당 0.1마이크로미터보다 큰 먼지 입자의 수를 한 자리 숫자로 엄격하게 제어해야 함을 의미합니다. 칩 제조 공정의 정밀도에 따라 리소그래피 영역 및 초청정 테스트 영역과 같은 다양한 영역의 정화 수준을 결정하여 대상 정화 장비를 구성하여 칩이 마이크로 수준에서 먼지 불순물로 방해받지 않도록 보장하고 칩 수율을 보장합니다.

3. 건축구조 설계

작업장의 건축 구조는 정화 요구 사항에 맞게 조정되어야 합니다. 벽, 바닥, 천장은 공기가 잘 통하고 매끄러우며 청소가 용이하고 정전기 방지 재료로 만들어져야 합니다. 색상 코팅 강판을 벽에 선택할 수 있으며 이음새가 없는 조인트가 있습니다. 에폭시 셀프 레벨링은 내마모성, 내식성 및 정전기 방지 기능을 갖춘 바닥에 사용할 수 있습니다. 천장은 사람이 접근할 수 있도록 설계되어 나중에 장비를 유지 관리할 때 편리합니다. 고효율 미립자공기(HEPA) 필터와 초저투과공기(ULPA) 필터를 장착하여 균일한 공기 공급과 안정적이고 오래 지속되는 정화 효과를 보장합니다.

4. 공기정화시스템의 선정 및 설치

공조장치, 급기 및 환기 덕트, 필터 등으로 구성된 핵심링크입니다. 공조장치는 냉동, 난방, 가습, 제습, 공기여과 등의 다양한 기능을 갖추어야 하며 매우 작은 오차 범위로 온도와 습도를 정확하게 조절해야 합니다. 공급 및 환기 덕트는 작업장 배치에 따라 합리적으로 계획되었으며 고품질 아연 도금 강판을 사용하여 기밀성을 보장하고 공기 누출로 인한 정화 실패를 방지합니다. 모든 수준의 필터는 단계별로 작동합니다. 1차 필터는 큰 입자의 먼지를 제거하고, 중효율 필터는 공기를 더욱 정화하며, 고효율, 초고효율 필터는 칩 제조 현장에 거의 살균되고 먼지가 없는 초청정 공기를 제공합니다.

5. 정전기 및 미세진동 제어

양자 칩은 정전기에 매우 민감합니다. 작은 정전기 방전으로 인해 칩이 손상될 수 있습니다. 이온 팬 및 정전기 접지 시스템과 같은 전문 정전기 제거 장비가 작업장에 설치되어 정전기 전위가 안전 임계값 내에 있는지 확인합니다. 동시에 장비 작동 및 인력 이동으로 인해 발생하는 미진동을 고려하여 건물 기초부터 충격 흡수 설계를 채택하고 장비 설치에도 충격 흡수 패드를 장착하여 미진동이 전달되어 칩 리소그래피 등 정밀 공정의 정확도에 영향을 미치는 것을 방지합니다.

6. 물, 전기, 가스 시스템 지원

물, 전기, 가스의 안정적이고 안정적인 공급은 작업장 운영을 보장합니다. 순수 시스템은 칩 제조를 위한 고순도의 수원을 제공하여 세정, 에칭 등의 공정 요구를 충족시키며, 수질은 전자급 초순수 기준에 도달합니다. 전원 시스템은 갑작스러운 정전에 대처하고 주요 장비의 지속적인 작동을 보장하기 위해 무정전 전원 공급 장치(UPS)가 장착된 이중 회로 전원 공급 장치를 채택합니다. 가스 시스템은 질소, 아르곤과 같은 특수 가스를 정확하게 분배합니다. 파이프라인은 가스 오염이 칩 품질에 영향을 미치지 않도록 엄격하게 밀봉되고 퍼지됩니다.

7. 장비 설치 및 시운전

정화설비와 생산설비가 순차적으로 설치됩니다. 장비가 수평이고 안정적이며 단단히 연결되도록 하려면 설치 사양을 엄격하게 준수하여 설치해야 합니다. 설치 후 공동 시운전이 수행됩니다. 생산 조건을 시뮬레이션하고, 정화 효과, 온도 및 습도 제어, 장비 연동을 종합적으로 테스트하고, 모든 지표가 설계 요구 사항을 충족할 때까지 매개변수를 반복적으로 조정하여 양자 칩의 정식 생산을 위한 완벽한 제조 환경을 조성합니다.

전문 팀과 첨단 기술을 갖춘 광주 클린룸 건설 유한회사(Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd.)는 양자 칩 클린룸 건설 프로세스의 모든 세부 사항을 제어하여 양자 기술 기업이 더 높은 수준에 도달하고 양자 칩 대량 생산의 새로운 여정을 시작할 수 있도록 지원합니다. 클린룸 건설에 대한 요구 사항이 있는 경우 언제든지 당사에 문의하십시오. 기술적인 미래를 만들기 위해 함께 노력합시다!