급속한 기술 발전의 시대에 퀀텀 칩은 최첨단 기술 분야에서 핵심 부품으로서 제조 환경에 대한 매우 엄격한 요구 사항이 있습니다.광저우 청정실 건설 회사., Ltd., 산업에서 오랜 경험을 가진 정화 장비의 전문 제조업체는 오늘 양자 칩 제조를 위한 청정실 건설 과정을 공개합니다.

1프로젝트 전 계획 및 요구 분석

양자 칩을 위한 클린룸을 만드는 첫 번째 단계는 매우 중요합니다. 칩 제조 과정의 모든 링크를 깊이 이해하는 것이 필요합니다.칩 리토그래피, 발열, 포장 및 다른 과정에 퇴적, 다른 단계는 온도, 습도, 먼지 입자 수와 같은 환경 매개 변수에 대한 다른 요구 사항이 있습니다.전기 정적 제어칩 제조 기업과 긴밀하게 소통합니다. 생산 규모와 기술 경로에 따라 작업실의 면적과 레이아웃을 정확하게 결정합니다.그리고 직원들의 흐름 방향을 계획합니다., 재료 및 제품으로 세 가지 흐름이 서로 간섭하지 않고 교차 오염을 피하도록 보장하여 미래의 효율적인 생산에 대한 탄탄한 기반을 마련합니다.

2정화 수준 결정

양자 칩 제조는 일반적으로 매우 높은 정화 수준을 요구하며, 일반적으로 ISO 클래스 3 또는 그보다 높습니다. 이것은 먼지 입자의 수가 0보다 크다는 것을 의미합니다.1 미크로미터 / 3m 공기의 1 미크로미터 1 미크로미터 / 3m 공기의 1 미크로미터 1 미크로미터 / 3m 공기의 1 미크로미터 / 3m 공기의 1 미크로미터 / 3m 공기의 1 미크로미터 / 3m 공기의 1 미크로미터- 칩 제조 과정의 정확도에 따라 리토그래피 영역과 초정결 테스트 영역과 같은 다른 영역의 정화 수준을 결정합니다.표적된 정화 장비를 구성할 수 있도록, 칩이 미세 수준에서 먼지 불순물에 의해 방해되지 않도록 보장하고 칩 양산율을 보장합니다.

3건축 구조 설계

작업실의 건축 구조는 정화 요구 사항에 맞게 조정되어야 합니다. 벽, 바닥, 천장은 공기 밀착, 부드럽고 청소가 쉬운,그리고 항 정적 물질무선 관절을 가진 벽에 색깔로 코팅 된 철판을 선택할 수 있습니다. 바닥에 에포시스 자체 평준화를 사용할 수 있습니다.;천장은 사람이 접근할 수 있도록 설계되어 후속 장비 유지보수를 위해 편리합니다.고효율 미세먼지 공기 필터 (HEPA) 와 극저출력 공기 필터 (ULPA) 를 설치하여 균일한 공기 공급과 안정적이고 장기적인 정화 효과를 보장합니다..

4공기 정화 시스템의 선택 및 설치

이것은 핵심 연결고리입니다. 에어컨 단위, 공급 및 환원 공기 유관, 필터 등으로 구성되어 있습니다. 에어컨 단위는 냉장, 난방,습화, 탈습 및 공기 필터링, 매우 작은 오류 범위로 온도와 습도를 정확하게 조절합니다.공급 및 반환 공기 통로는 작업장의 배열에 따라 합리적으로 계획됩니다., 그리고 고품질의 진열 된 강철 시트를 사용하여 공기 밀착을 보장하고 공기 누출이 정화 실패를 유발하는 것을 방지합니다. 모든 수준의 필터는 단계적으로 작동합니다.주요 필터 는 먼지 가루 를 제거 합니다., 중간 효율의 필터는 공기를 더 정화합니다.그리고 고효율과 초고효율 필터는 칩 제조 부위에 거의 불균형하고 먼지 없는 극도로 깨끗한 공기를 제공합니다..

5전기 정적 및 마이크로 진동 제어

양자 칩은 정적 전기에 매우 민감합니다. 작은 정전 전류 충전이 칩을 손상시킬 수 있습니다. Professional electrostatic elimination equipment such as ion fans and electrostatic grounding systems are equipped in the workshop to ensure that the electrostatic potential is within the safe threshold동시에, 장비 작동 및 인력 이동으로 인해 생성되는 마이크로 진동을 고려하여, 충격 흡수 디자인은 건물 기초에서 채택됩니다. and shock - absorbing pads are also equipped for equipment installation to prevent the micro - vibrations from being transmitted and affecting the accuracy of precision processes such as chip lithography.

6물, 전기 및 가스 시스템 지원

안정적이고 신뢰할 수 있는 물, 전기 및 가스 공급은 작업실의 운영에 대한 보증입니다. 순수 물 시스템은 칩 제조를 위해 고 순수 물 소스를 제공합니다.정화 및 에치링과 같은 프로세스의 필요를 충족시키는, 그리고 물의 품질은 전자 수준의 초순수 표준에 도달합니다. 전력 시스템은 이중 회로 전원 공급을 채택합니다.갑작스러운 전력 중단에 대처하고 주요 장비의 지속적인 작동을 보장하기 위해 끊김없는 전원 공급 장치 (UPS) 로 장착가스 시스템은 질소와 아르곤과 같은 특수 가스를 정확하게 분배합니다. 가스 오염이 칩 품질에 영향을 미치지 않도록 파이프 라인이 엄격히 밀폐되고 정화됩니다.

7장비 설치 및 시공

정화 장비와 생산 장비는 순차적으로 설치됩니다. 장비가 평평하고 안정적이도록 하기 위해 설치 사양에 엄격하게 따라 설치되어야 합니다.,그리고 단단히 연결됩니다. 설치 후 공동 시범화 수행됩니다. 생산 조건을 시뮬레이션하고 정화 효과, 온도 및 습도 조절을 종합적으로 테스트합니다.그리고 장비의 연결, 그리고 모든 지표가 설계 요구 사항을 충족 할 때까지 매개 변수를 반복적으로 조정하여 양자 칩의 공식 생산을위한 완벽한 제조 환경을 만듭니다.

광저우 클린룸 건설 회사, Ltd.는 전문 팀과 첨단 기술로 양자 칩을 위한 클린룸 건설 과정의 모든 세부 사항을 통제합니다.양자 기술 기업들이 더 높은 수준에 도달하고 양자 칩 대량 생산의 새로운 여정을 시작하도록 돕는 것청정실 건설에 대한 요구 사항이 있다면 저희에게 연락해 주세요.