최근 회사 사건 Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. 인증서

급속한 기술 발전 시대에, 첨단 기술 분야의 핵심 구성 요소인 양자 칩은 제조 환경에 대해 매우 엄격한 요구 사항을 가지고 있습니다. 업계에서 수년간의 경험을 가진 전문 정화 장비 제조업체인 Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd.는 오늘 양자 칩 제조를 위한 클린룸 건설 과정을 공개합니다.

1. 사전 프로젝트 계획 및 요구 사항 분석

양자 칩을 위한 클린룸을 구축하는 첫 번째 단계는 매우 중요합니다. 칩 제조 공정의 모든 링크에 대한 심층적인 이해가 필요합니다. 칩 리소그래피, 에칭, 증착에서 패키징 및 기타 공정에 이르기까지, 각 단계는 온도, 습도, 먼지 입자 수 및 정전기 제어와 같은 환경 매개변수에 대한 서로 다른 요구 사항을 가지고 있습니다. 칩 제조 기업과 긴밀히 소통합니다. 생산 규모와 기술 경로를 기반으로 워크샵의 면적과 레이아웃을 정확하게 결정하고, 인력, 자재 및 제품의 흐름 방향을 계획하여 세 가지 흐름이 서로 간섭하지 않고 교차 오염을 방지하여 미래의 효율적인 생산을 위한 견고한 기반을 마련합니다.

2. 정화 수준 결정

양자 칩 제조는 일반적으로 ISO Class 3 또는 그 이상과 같은 매우 높은 정화 수준을 요구합니다. 이는 입방 미터의 공기당 0.1 마이크로미터보다 큰 먼지 입자 수를 한 자릿수로 엄격하게 제어해야 함을 의미합니다. 칩 제조 공정의 정밀도에 따라 리소그래피 영역 및 초청정 테스트 영역과 같은 다양한 영역의 정화 수준을 결정하여 정화 장비를 목표로 구성하여 칩이 미세 수준에서 먼지 불순물에 의해 방해받지 않도록 하고 칩 수율을 보장합니다.

3. 건축 구조 설계

워크샵의 건축 구조는 정화 요구 사항에 적합해야 합니다. 벽, 바닥 및 천장은 기밀성, 매끄러움, 청소 용이성 및 정전기 방지 재료로 만들어야 합니다. 벽에는 이음새가 없는 컬러 코팅 강판을 선택할 수 있습니다. 바닥에는 내마모성, 내식성 및 정전기 방지 기능을 갖춘 에폭시 자체 수평 조절을 사용할 수 있습니다. 천장은 나중에 장비 유지 보수에 편리하도록 사람이 접근할 수 있도록 설계되었습니다. 고효율 미립자 공기(HEPA) 필터와 초저 투과 공기(ULPA) 필터를 설치하여 균일한 공기 공급과 안정적이고 오래 지속되는 정화 효과를 보장합니다.

4. 공기 정화 시스템의 선택 및 설치

이것은 공조 장치, 공급 및 반환 공기 덕트, 필터 등으로 구성된 핵심 링크입니다. 공조 장치는 냉각, 가열, 가습, 제습 및 공기 여과와 같은 여러 기능을 갖추어 온도와 습도를 매우 작은 오차 범위 내에서 정확하게 조절해야 합니다. 공급 및 반환 공기 덕트는 워크샵의 레이아웃에 따라 합리적으로 계획되고 고품질 아연 도금 강판을 사용하여 기밀성을 보장하고 공기 누출로 인한 정화 실패를 방지합니다. 모든 수준의 필터는 단계별로 작동합니다. 1차 필터는 큰 입자 먼지를 제거하고, 중간 효율 필터는 공기를 추가로 정화하며, 고효율 및 초고효율 필터는 칩 제조 영역에 거의 무균 및 먼지가 없는 초청정 공기를 제공합니다.

5. 정전기 및 미세 진동 제어

양자 칩은 정전기에 매우 민감합니다. 작은 정전기 방전은 칩을 손상시킬 수 있습니다. 이온 팬 및 정전기 접지 시스템과 같은 전문 정전기 제거 장비가 워크샵에 장착되어 정전기 전위가 안전 임계값 내에 있도록 합니다. 동시에 장비 작동 및 인력 이동으로 인해 발생하는 미세 진동을 고려하여 건물 기초에서 충격 흡수 설계를 채택하고, 장비 설치에도 충격 흡수 패드를 장착하여 미세 진동이 전달되어 칩 리소그래피와 같은 정밀 공정의 정확성에 영향을 미치는 것을 방지합니다.

6. 물, 전기 및 가스 시스템 지원

안정적이고 신뢰할 수 있는 물, 전기 및 가스 공급은 워크샵 운영의 보증입니다. 순수 물 시스템은 칩 제조를 위한 고순도 물 공급원을 제공하여 세척 및 에칭과 같은 공정의 요구 사항을 충족하며, 수질은 전자 등급 초순수 기준에 도달합니다. 전력 시스템은 이중 회로 전원 공급 장치를 채택하고, 갑작스러운 정전을 처리하고 주요 장비의 지속적인 작동을 보장하기 위해 무정전 전원 공급 장치(UPS)를 장착합니다. 가스 시스템은 질소 및 아르곤과 같은 특수 가스를 정확하게 분배합니다. 파이프라인은 가스 오염이 칩 품질에 영향을 미치는 것을 방지하기 위해 엄격하게 밀봉되고 정화됩니다.

7. 장비 설치 및 시운전

정화 장비 및 생산 장비는 순서대로 설치됩니다. 장비가 수평, 안정적이고 단단하게 연결되도록 설치 사양에 따라 엄격하게 설치해야 합니다. 설치 후에는 공동 시운전이 수행됩니다. 생산 조건을 시뮬레이션하고, 정화 효과, 온도 및 습도 제어, 장비 연동을 포괄적으로 테스트하고, 모든 지표가 설계 요구 사항을 충족할 때까지 매개변수를 반복적으로 조정하여 양자 칩의 공식 생산을 위한 완벽한 제조 환경을 조성합니다.

Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd.는 전문 팀과 첨단 기술을 통해 양자 칩을 위한 클린룸 건설 과정의 모든 세부 사항을 제어하여 양자 기술 기업이 더 높은 수준에 도달하고 양자 칩 대량 생산의 새로운 여정을 시작하도록 돕습니다. 클린룸 건설에 대한 요구 사항이 있으시면 언제든지 문의하십시오. 기술적인 미래를 함께 만들어 갑시다!