반도체 분야에서는 새로운 재료에 의해 기술 혁명이 진행되고 있습니다.우수한 특성을 가진 고성능 반도체 장치의 연구와 개발에 새로운 길을 열었습니다.그러나 실험실의 성취에서 대규모 산업 생산으로 전환하려면 특성에 맞는 먼지 없는 청정실이 필수적입니다. 광저우 청정실 건설 회사., Ltd. , 수년간 정제 산업에 깊이 관여해 온,심 파란색 갈륨 산화물 반도체에 대한 먼지 없는 청정실의 건설에서 핵심 포인트를 포괄적으로 이해하게 할 것입니다.

I. 정화 수준에 대한 엄격한 통제

깊은 파란색 갈륨 산화물 반도체의 생산 과정은 먼지 및 미생물과 같은 불순물들에 매우 민감합니다. 웨이퍼 제조, 리토그래피,그리고 에칭, 심지어 작은 입자가 " 섞여" 칩에서 단회로, 성능 저하, 그리고 생산율의 현저한 감소를 일으킬 수 있습니다. 따라서,작업실의 정화 수준은 보통 10급 또는 더 높은 기준에 도달해야 합니다.즉, 공기 1m3당 0.5m2 이상의 먼지 입자의 수는 10개 안에 엄격히 통제됩니다.광저우 쿨링은 국제적으로 선도적인 공기 필터링 기술을 도입했습니다.초차 필터링에서 먼지의 큰 입자를 가로막는 것부터, 중간 효율의 필터링으로 중간 크기의 불순물을 포착하는 것,그리고 고효율의 입자 공기 필터 (HEPA) 와 초저출력 공기 필터 (ULPA) 를 통해 층별로 "검색"합니다., 그것은 작업실에 들어가는 공기가 거의 불순물이 없도록 보장하며 정밀 생산에 순수한 기초를 마련합니다.

II. 온도 와 습도 를 정확하게 조절 하는 것

갈륨 산화물 반도체 재료의 전기적 특성 및 결정 구조 안정성은 다른 온도 및 습도 환경에서 크게 다릅니다.적절한 온도 범위는 일반적으로 22 °C에서 25 °C 사이로 고정됩니다., 습도는 40% ~ 50% 상대 습도 (RH) 에서 유지됩니다. 작업실은 지능형 온도 및 습도 제어 시스템으로 장착됩니다.환경 데이터를 실시간으로 모니터링하는 고정도 센서, 그것은 에어컨, 습기장, 그리고 탈습기장과 연결되어 반응하고 빠르게 조정합니다.냉각 모듈이 냉각을 위해 효율적으로 작동합니다.; 겨울에 건조하면 습도를 높이기 위해 습기 장비를 정확하게 분사합니다.일정한 온도와 습도 "미크로 기후"를 만들어 갈륨 산화물 재료와 장비를 최상의 작동 상태로 유지하고 공정 오차 위험을 줄이십시오..

III. 정적 방지 에 대한 철저 한 조치

반도체 처리에서 정전력은 "숨겨진 살인자"입니다.그리고 정적 전기에 의한 배열 현상은 쉽게 트랜지스터를 깨고 칩을 손상시킬 수 있습니다.바닥 소재는 반 정적 PVC 또는 에포시스 자기 평준화 바닥,표면 저항이 10^6~10^9 오름 범위 내에서 엄격히 제어되어 정전기를 빠르게 분산시킵니다.장비와 작업판에는 정적 제거 장치가 장착되어 있으며, 이온 팬은 충전을 중화하기 위해 양성 이온과 음성 이온을 지속적으로 불어냅니다.작업자는 반 정적 작업 의류와 신발 덮개를 착용합니다., 완전히 "무장"되어 정적 전력 축적 및 소스에서 방출되는 숨겨진 위험을 제거하고 제품의 무결성을 보호합니다.

IV. 환기 및 공기 흐름 조직의 과학적 계획

작업실 내의 좋은 환기는 신선한 공기를 보장 할뿐만 아니라 배기가스 처리 폐가스를 배출하고 냉각을위한 열을 분산시키는 데 도움이 됩니다.일방적 흐름과 격동적 흐름 공기 분배 형태의 조합이 채택됩니다.리토그래피 영역에서는 안정적인 흐름 속도 (0.3~0.5m/s) 를 가진 수직 단방향 흐름이 먼지를 정확하게 배출합니다.터블런트 흐름 환기가 효율적으로 공기를 대체하도록 설정되어 있습니다.환기 통로의 재료는 화재 예방, 경화 예방 및 낮은 공기 누출률을 고려하여 선택됩니다. Fans are accurately selected according to the scale of the workshop and the frequency of air changes to ensure that the air volume and air pressure are suitable and maintain the orderly flow of air and dilute the concentration of harmful substances.

V. 공정 장비의 적절한 배열

깊은 파란색 갈륨 산화물의 준비 과정은 복잡하며, 리토그래피 기계, 에칭 기계, 화학 증기 퇴적 장비 등 크기와 무게,그리고 작동 중 진동과 열 분산에 대한 특별한 요구 사항이 있습니다.워크샵의 레이아웃은 "순활한 프로세스 흐름과 장비 간의 간섭이없는"원칙을 준수합니다.그리고 무거운 장비는 좋은 부하 운반 및 우수한 충격 흡수열 분산 채널이 예약되고 장비의 열 분산 곡선에 따라 냉각 장치가 설치됩니다.부근 장비 사이의 간격은 유지보수를 용이하게 하기 위해 합리적입니다., 운영 및 디버깅, 장비의 효율적인 연결과 고품질 반도체 제품의 안정적인 생산을 가능하게합니다.

VI. 인력 관리 및 교육의 향상

인원은 작업장의 운영에 핵심적인 요소이지만, 또한 오염의 잠재적인 원천입니다.진한 파란색 갈륨 산화질소의 먼지 없는 청정실에 들어가는 직원은 엄격한 붕어 절차를 통과해야합니다., 공기 샤워에서 먼지를 제거하는 것부터 살균성 보호복, 마스크, 장갑을 착용하는 것, 층별로 청소하는 것까지.직원들의 반도체 공정에 대한 지식을 강화하기 위해 정기적으로 전문 교육이 실시됩니다., 청정실의 운영 규범, 그리고 비상 상황에 대응할 수 있는 능력.새로운 직원 들 은 경험 많은 동료 들 에게 재료 처리 와 장비 운영 의 세부 사항 을 숙지 할 수 있는 실용적 인 지침 을 받는다, 인적 실수로 인한 제품 오염 및 손상의 가능성을 줄입니다.

깊은 파란색 갈리움 산화물 반도체 를 위한 먼지 없는 청정실 건설에 참여 하는 것은 도전 과 기회 이기도 하다. 광저우 청정실 건설 회사, Ltd. , Ltd는 풍부한 프로젝트 경험, 전문 기술 팀, 그리고 고품질 정화 제품을 기반으로 전체 프로세스 전체에 대한 단점 솔루션을 사용자 정의합니다.건설 후 운영 및 유지보수, 우리는 기업들이 파란색 갈륨산화물 산업에서 우위를 점하도록 돕기 위해 정확한 노력을 기울일 것입니다.만약 당신이 그러한 작업실 프로젝트를 계획하거나 건축 세부 사항에 대한 질문이 있다면, 즉시 저희에게 연락해 주시기 바랍니다. 그리고 함께 깨끗한 반도체 제조의 새로운 모델을 만들기 위해 일합시다.