최근 회사 사건 Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. 인증서

반도체 제조 분야는 첨단 기술 분야로, 생산 환경의 작은 변화도 제품 품질에 결정적인 영향을 미칠 수 있습니다. 정화 장비 산업에서 수년간의 심층적인 경험을 가진 전문 제조업체인 Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd.는 반도체 클린룸에서 기류 압력 차이 제어의 핵심적인 위치를 깊이 이해하고 있습니다. 오늘 우리는 반도체 클린룸을 위한 기류 압력 차이 제어 솔루션을 포괄적으로 분석하여 안정적이고 효율적인 생산 환경을 조성하는 데 도움을 드리겠습니다.

반도체 칩의 제조 공정은 매우 섬세합니다. 먼지 입자나 미생물과 같은 오염 물질이 혼합되면 칩의 단락 및 개방 회로와 같은 심각한 문제를 일으킬 수 있습니다. 첨단 공정 칩의 리소그래피 공정을 예로 들어 보겠습니다. 칩의 선폭은 나노미터 수준에 도달했습니다. 직경이 0.1마이크로미터에 불과한 먼지 입자 하나만으로도 리소그래피 패턴에 편차가 발생하여 칩이 폐기될 수 있습니다. 기류 압력 차이를 합리적으로 구성하고 클린룸을 양압 상태로 유지함으로써 외부 오염 물질을 효과적으로 차단하여 칩 생산을 위한 보이지 않는 보호 장벽을 구축할 수 있습니다.

반도체 제조는 리소그래피, 에칭, 도핑 등 다양한 복잡한 공정을 포함합니다. 각 공정은 환경 온도, 습도 및 청결도에 대한 서로 다른 요구 사항을 가지고 있습니다. 안정적인 기류 압력 차이는 각 영역의 환경 매개변수가 항상 공정에서 요구하는 범위 내에서 유지되도록 보장하여 공정의 원활한 진행을 위한 튼튼한 보증을 제공합니다. 에칭 공정에서 기류가 불안정하면 에칭 가스의 분포가 고르지 않아 에칭 속도가 일치하지 않아 칩의 에칭 정확도와 제품 품질에 심각한 영향을 미칩니다.

• 핵심 생산 구역: 리소그래피, 에칭, 도핑과 같은 주요 공정이 이 구역에서 수행됩니다. 여기서는 청결도와 양압에 대한 요구 사항이 매우 높습니다. 핵심 생산 구역의 압력을 인접한 보조 구역보다 15~25Pa 더 높게 유지하여 외부 오염 물질의 침입 위험을 최소화하고 칩 제조 공정이 오염으로 인해 방해받지 않도록 하는 것이 좋습니다.
• 보조 생산 구역: 자재 임시 보관 구역 및 장비 유지 보수 구역과 같은 보조 구역은 청결도 요구 사항이 핵심 생산 구역보다 약간 낮지만 여전히 특정 양압을 유지해야 합니다. 일반적으로 일반 복도와 같은 구역보다 5~10Pa 더 높게 유지하여 복도의 오염 물질이 보조 구역으로 유입되어 핵심 생산 구역의 환경을 위협하는 것을 방지합니다.
• 인원 및 자재 통로: 작업장에 인원 및 자재가 출입하는 통로의 경우, 효과적인 에어록 효과를 형성하기 위해 합리적인 압력 차이 기울기를 신중하게 설정해야 합니다. 비청정 구역에서 청정 구역으로 들어갈 때 통과하는 각 문마다 압력이 점차 증가하여 여러 겹의 검문소와 같은 역할을 하여 인원 및 자재와 함께 청정실로 들어오는 오염 물질을 효과적으로 차단합니다.

• 고정밀 압력 센서: Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd.에서 자체 개발한 고정밀 압력 센서는 뛰어난 성능을 발휘합니다. 측정 정확도는 ±0.1Pa에 달하여 작업장의 각 구역의 압력 변화를 실시간으로 정확하게 포착하여 비정상적인 압력 변동을 즉시 감지하고 적시에 대응하기 위한 강력한 근거를 제공합니다.
• 지능형 환기 제어 시스템: 이 시스템은 고정밀 압력 센서와 밀접하게 연결되어 있습니다. 사전 설정된 압력 차이 값에 따라 팬 속도와 밸브 개방을 자동으로 정밀하게 조정하여 기류를 지능적이고 정교하게 제어할 수 있습니다. 특정 구역의 압력이 설정 값보다 낮아지는 것을 감지하면 시스템이 신속하게 반응하여 공기 공급량을 자동으로 늘리거나 공기 배출량을 줄여 압력을 정상 수준으로 빠르게 복원합니다.

측정 데이터의 정확성과 신뢰성을 보장하기 위해 6개월마다 압력 센서를 엄격하게 보정합니다. 동시에 환기 장비를 정기적으로 종합적으로 검사하여 팬 임펠러의 마모 여부, 밸브의 정상적인 개폐 여부 등을 주의 깊게 확인하고, 노후되거나 손상된 부품을 적시에 교체하여 장비가 항상 최상의 작동 상태를 유지하도록 합니다.

작업장 직원을 대상으로 기류 압력 차이 제어 지식에 대한 체계적인 교육을 실시하여 압력 차이 제어의 중요성과 비정상적인 상황의 처리 방법을 깊이 이해할 수 있도록 합니다. 압력 차이 경보가 발생하면 직원은 장비 고장 및 파이프라인 누출과 같은 가능한 원인을 신속하게 분석하고 적시에 효과적인 대응 조치를 취하여 작업장 생산의 연속성과 안정성을 보장할 수 있습니다.

전문적인 기류 압력 차이 데이터 모니터링 시스템을 구축하고 장기간 축적된 압력 데이터를 심층적으로 분석합니다. 데이터 분석을 통해 잠재적인 문제를 예리하게 감지할 수 있습니다. 예를 들어, 일부 구역의 압력이 자주 변동하는 경우 장비 고장 또는 부적절한 공기 분배 때문일 수 있으며, 이를 통해 목표 최적화 조정을 수행하여 기류 압력 차이 제어 솔루션을 지속적으로 개선할 수 있습니다.

Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd.는 풍부한 기술 축적과 풍부한 프로젝트 경험을 바탕으로 고품질 정화 장비를 제공할 뿐만 아니라 반도체 클린룸을 위한 광범위한 기류 압력 차이 제어 솔루션과 완벽한 사후 유지 관리 서비스를 맞춤화할 수 있습니다. 반도체 클린룸을 건설할 계획이거나 기존 작업장의 운영 중 관련 문제가 발생한 경우 언제든지 문의하십시오. 업계 최고의 반도체 청정 생산 환경을 함께 만들고 반도체 산업 발전에 기여합시다.