클린룸은 미립자 오염이 생산되는 제품의 품질에 영향을 미칠 수 있는 모든 제조 공정에 필수적입니다. 클린룸은 제어된 공기 여과를 통해 보호 지침과 안전한 환경을 제공하여 중요한 공정 제조에서 제품 오염이나 큰 입자 간섭 가능성을 낮춥니다.
또한 클린룸 분류에서는 클린룸이 작동하는 동안 양압이 지속적으로 유지되어야 합니다. 이 과정은 오염된 공기가 깨끗한 공기 환경 내로 역류하는 것을 방지합니다. 이 프로세스를 통해 깨끗하게 필터링된 공기가 깨끗한 공간에서 덜 깨끗한 공간으로 지속적으로 흐르게 되어 지속적인 공기 이동이 가능해집니다.
| 연방 표준 209E | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 수준 | >=0.1um | >=0.2um | >=0.3um | >=0.5um | >=5um | 동등한 |
| 1 | 35 | 7 | 3 | 1 | ISO3 | |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | ISO4 | |
| 100 | 100 | ISO5 | ||||
| 1000 | 1000 | 7 | ISO6 | |||
| 10000 | 10000 | 70 | ISO7 | |||
| 100000 | 100000 | 700 | ISO8 | |||
| ISO 14644-1 클린룸 표준 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 수준 | >=0.1um | >=0.2um | >=0.3um | >=0.5um | >=1um | >=5um | 동등한 |
| ISO1 | 10 | 2 | |||||
| ISO2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1 | |
| ISO4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | 10 | |
| ISO5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 |
| ISO6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 |
| ISO7 | 352000 | 83200 | 2930 | 10000 | |||
| ISO8 | 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 | |||
| ISO9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | 룸에어 | |||
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