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클린룸에서 MAU + FFU + DCC 시스템의 제어 기술

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클린룸에서 MAU + FFU + DCC 시스템의 제어 기술

December 12, 2024
최신 회사 사례 클린룸에서 MAU + FFU + DCC 시스템의 제어 기술
현대 산업 생산과 과학 연구 분야에서 청정실은 매우 중요한 역할을 합니다.MAU + FFU + DCC 시스템이 등장하여 공기 정화 솔루션의 주류가되었습니다.이 기사에서는 이 시스템의 제어 기술을 깊이 탐구하여 완벽한 깨끗한 공간을 만들기 위해 청정실에서 어떻게 정확하게 작동하는지 이해하도록 안내합니다.

I. MAU + FFU + DCC 시스템의 개요

 

MAU (메이크업 에어 유닛) 는 시스템 내의 "공기 전처리 선구자"로서 외부에서 신선한 공기를 도입하고 일련의 처리를 수행하는 중요한 업무를 수행합니다.필터링과 같은, 난방, 냉각, 습기화 및 탈습. 그것의 목적은 처음에는 청정실의 온도, 습도 및 청결성 기준을 충족하는 신선한 공기를 제공하는 것입니다.FFU (팬 필터 유닛) 는 작업실의 "공기 정화 엘프"와 같습니다.그것은 높은 효율의 필터를 통해 공기를 세밀하게 필터링하여 작업실 내의 특정 영역의 공기 청결성이 매우 높은 수준에 도달하는지 확인합니다.유연하게 결합하고 분산 할 수 있습니다.DCC (드라이 콜링 코일) 는 "온도와 습도를 정밀 조정하는 마스터"와 같습니다.주로 공기 온도 조절에 도움을 주는 역할을 합니다.특히 합리적인 온도 조절에 중요한 역할을 합니다. MAU와 FFU와 함께 작업장에서 온도와 습도의 정확한 균형을 유지합니다.이 세 가지 구성 요소는 서로를 보완하고 깨끗 한 방에 대한 완전하고 효율적인 공기 정화 및 환경 관리 시스템을 구축합니다..

II. 시스템 제어의 핵심 점

(I) 온도 조절 전략

 

The MAU uses advanced PID control algorithms based on the set temperature value and the actual feedback value in the workshop to precisely adjust the water flow or refrigerant flow of the cooling or heating coils, 따라서 신선한 공기 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. FFU 자체는 직접적으로 온도 조절을 지배하지는 않지만,FFU의 공기 부피가 작업실의 공기 분포에 영향을 미치므로 온도 분포에 간접적으로 영향을 미칩니다., 시스템 가동 및 운영 중에 FFU의 공기 부피를 합리적으로 설정하고 최적화해야합니다. The DCC further cools or heats the air by adjusting the chilled water flow according to the changes in the sensible heat load in the workshop to ensure the uniformity and stability of the temperature in the workshop예를 들어, 온도 조절에 대한 매우 높은 요구 사항이있는 일부 반도체 제조 청정실에서, MAU, FFU,그리고 DCC는 작업장에서 매우 작은 범위 내에서 온도 변동 범위를 엄격하게 제한할 수 있습니다, 생산 과정이 온도 변화로 방해받지 않도록 보장합니다.

(II) 습도 조절의 주요 점

 

The humidification and dehumidification modules in the MAU automatically switch working modes and adjust the humidification or dehumidification amount according to the set humidity and the actual humidity in the workshop일반적인 습화 방법에는 증기 습화 및 전극 습화, 그리고 탈 습화 방법에는 응축 탈 습화 및 회전 탈 습화 등이 있습니다.FFU가 필터링 과정에서 공기 습도를 크게 변화시키지 않기 때문에의약품 청정실에서 정확한 습도 조절은 약물 품질의 안정성을 위해 중요합니다.습도 센서와 함께, 습도를 실시간으로 모니터링하고 조절합니다. 작업실의 공기 분배와 협력하여,그것은 모든 시간에 약 생산에 적합한 특정 범위 내에서 전체 작업실의 습도를 유지의약품 생산을 위한 이상적인 습도 환경을 만드는 것입니다.

(III) 청결 관리 의 핵심

 

MAU의 1차 및 중저효율 필터는 신선한 공기의 더 큰 미세먼지 오염 물질을 차단하여 후속 공기 정화에 기반을 마련합니다.FFU 를 장착 한 고효율 필터 (HEPA 또는 ULPA) 는 높은 청결 표준을 달성하는 열쇠입니다.그들은 먼지 입자와 미생물과 같은 작은 미세먼지 오염 물질에 대한 극도로 높은 필터링 효율을 가지고 있습니다.청정실이 해당 청정 수준 요구 사항을 충족하도록 하는 것, 예를 들어 ISO 5 레벨, ISO 6 레벨 등. 한편, FFU의 균일한 분포와 안정적인 작동은 작업장 전체의 청결의 균일성을 보장하는 데 결정적인 역할을합니다.전자 칩 제조용 청정실, 높은 효율의 필터링과 FFU의 합리적인 레이아웃은 칩 생산 프로세스를 오염시키는 먼지 입자를 효과적으로 방지하여 칩의 생산량을 크게 향상시킬 수 있습니다.

(IV) 압력 조절 의 핵심

 

청정실의 다른 부위에 압력 센서를 설치함으로써, MAU는 변주 주파수 팬 기술과 결합하여,다른 영역 사이의 압력 경사도의 안정성을 유지하기 위해 압력 차이 피드백에 따라 신선한 공기 공급량을 조정합니다.예를 들어, 깨끗하고 깨끗하지 않은 영역 사이에는 외부로부터 오염된 공기의 침입을 방지하기 위해 긍정적 인 압력이 유지됩니다.또한 다른 청결 수준이 있는 공간들 사이에도 적절한 압력차가 설정되어 청결도가 높은 공간의 공기가 청결도가 낮은 공간으로 흐르지 않도록 합니다.이 압력 조절 메커니즘은 청정실의 주요 생산 과정과 제품을 외부 오염으로부터 보호하는 데 중요합니다.

시스템 내 지능형 제어 기술의 적용

 

과학과 기술의 지속적인 발전으로, 지능형 제어 기술은 MAU + FFU + DCC 시스템에 널리 적용되었습니다.PLC (프로그램 가능한 논리 컨트롤러) 또는 DCS (분산 제어 시스템) 를 채택함으로써, 전체 시스템의 중앙 집중적 모니터링과 지능적인 관리가 이루어질 수 있습니다. Operators can intuitively understand the operating status and parameter information of each device in the system through the Human-Machine Interface (HMI) in the central control room and conduct remote control and parameter adjustments그 동안, the intelligent control system can also automatically make adaptive adjustments to various working condition changes during the system operation according to the preset control strategies and algorithms예를 들어, 작업실의 생산 장비가 켜지거나 꺼지면 열량, 습도량 또는 생성된 미세먼지 오염 물질의 양의 변화가 발생합니다.시스템은 MAU의 작동 매개 변수를 빠르게 감지하고 자동으로 조정할 수 있습니다., FFU 및 DCC는 작업장에서 환경 매개 변수의 안정성을 유지합니다. 또한 지능형 제어 시스템은 오류 진단 및 경보 기능을 가지고 있습니다.시스템 장비의 잠재적 고장을 적시에 감지하고 소음 및 빛 경보를 통해 유지 보수에 필요한 관련 직원을 알릴 수 있습니다., 시스템의 신뢰성과 안정성을 크게 향상시킵니다.

IV. 시스템 운영 및 최적화

 

MAU + FFU + DCC 시스템의 운용은 그 성능이 표준에 부합하는 것을 보장하는 중요한 링크입니다.먼저 기계적 성능이 있는지 확인하기 위해 개별 장비를 실행하는 것이 필요합니다., 각 장비의 전기 성능 및 제어 기능이 정상입니다. 예를 들어 MAU의 팬에 대한 속도 테스트, 필터에 대한 압력 차이 테스트, 팬 속도를 확인,공기 부피, 그리고 FFU의 필터 무결성, 그리고 DCC의 물 흐름 조정 성능을 확인, 등 개별 장비의 운용이 합격 된 후,시스템 연결 시공이 완료됩니다.다른 작업 조건, 예를 들어 다른 온도와 습도 설정 값 및 다른 생산 부하 상황을 시뮬레이션함으로써,시스템에서 온도에 미치는 제어 효과, 습도, 청결성 및 압력이 검사되고 조정됩니다. 시공 과정에서 온도 및 습도 센서와 같은 전문 테스트 도구를 사용하는 것이 필요합니다.먼지 입자 계산기, 및 공기 부피 후드, 작업장에서 환경 매개 변수를 정확하게 측정하고 분석하기 위해 테스트 결과에 따라 시스템의 제어 매개 변수가 최적화되고 조정됩니다.예를 들어,, PID 컨트롤러의 통합 및 미분 매개 변수 및 MAU, FFU 및 DCC의 공기 부피 및 물 흐름 매개 변수, 시스템의 최상의 작동 효과를 달성하기 위해.

결론

 

MAU + FFU + DCC 시스템의 제어 기술은 청정실의 환경을 보장하는 핵심입니다. 온도, 습도, 청결 등 주요 매개 변수들의 정밀한 통제를 통해그리고 압력, 지능형 제어 기술의 적용과 신중한 시스템 운영 및 최적화와 결합하여 안정적이고 신뢰할 수있는청정실에는 고품질의 공기 환경이 제공될 수 있습니다., 깨끗한 환경을 위한 다양한 첨단 기술 생산 및 과학 연구 활동의 엄격한 요구 사항을 충족합니다. 광저우 클린룸 건설 회사, Ltd.이 분야에서 풍부한 경험과 전문 기술 팀을 보유하고 있으며 고객에게 고급 MAU + FFU + DCC 시스템 솔루션과 고품질 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.우리는 산업 기술의 발전 추세에 계속주의를 기울이고 지속적으로 혁신하고 개선하며 클린룸 기술의 발전에 기여할 것입니다.청정실의 공기 정화 및 환경 관리에 관한 질문이나 요구 사항이 있다면, 저희에게 연락하는 것을 자유자재로 느끼십시오, 그리고 우리는 당신을 전심으로 봉사할 것입니다.
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